設備の仕様 |
分解能 高真空モード 3.0 nm(30 kV)、8 nm(3 kV)、15 nm(1 kV)
低真空モード 4.0 nm(30 kV)
倍率 × 5 ~× 300,000(画像サイズ128 mm × 96 mmにて)
プリセット倍率 5段、ユーザー設定可
標準レシピ 有り
カスタムレシピ 観察条件(照射系、画像モード、試料室圧力)試料ステージ
画像モード 二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像
加速電圧 0.5 kV ~ 30 kV
フィラメント ファクトリープリセンター形
電子銃 完全自動、手動調整可能
コンデンサーレンズ ズーム形
対物レンズ スーパーコニカル形
対物レンズ絞り 3段、XY微調整つき
非点メモリー 有り
イメージシフト ± 50 μm(作動距離10 mm)
自動機能 フォーカス、露出、非点補正
試料ステージ 大形ユーセントリック式5軸モーター駆動
X: 80 mm、Y: 40 mm、Z: 5 mm~48 mm、
傾斜: −10°~+90°、回転: 360°
試料交換 ステージ引出し式
最大試料寸法 150 mm径
PC IBM PC/AT 互換機
OS Windows 7
観察モニター 19形LCD
画像メモリー 640 × 480画素、1,280 × 960画素、2,560 ×1,920画素、5,120×3,840画素
2種ライブ像表示 有り
フル画面表示 有り
擬似カラー 有り
分割画面表示 2画像、4画像
デジタルズーム表示 有り
デュアルマグ 有り
ネットワーク イーサーネット
測長機能 有り
画像フォーマット BMP、TIFF、JPEG
画像自動保存 有り
排気系 完全自動、DP: 1台、RP: 1または2※1台
真空モード切換 操作メニュー上、1分以内
低真空圧力 10 ~270 Pa
JED-2300 EDS 有り(詳細仕様はJED-2300カタログ参照) |