設備名称	走査型電子顕微鏡
機関・部局名	新潟県工業技術総合研究所　県央技術支援センター
設置場所	三条市須頃1-17
どのような分析・計測ができるのか	走査型電子顕微鏡は電子線を観察試料に照射し、放出される二次電子・反射電子を検出することで高倍率での観察が可能な顕微鏡です。特に低真空モードでは帯電しやすい絶縁試料を導電処理なしで観察および分析することができます。光学像と電子顕微鏡画像が連動する機能があり、視野探しが非常にやりやすくなっています。また、試料から放出される特性Ｘ線を検出するＸ線分析装置が附属しており、観察部位の元素分析が可能です。
設備の仕様	【SEM（走査電子顕微鏡）】・倍率：5～300,000倍　・二次電子像分解能：3.0nm　　・反射電子像分解能：4.0nm　・加速電圧：0.3～30kV　・低真空圧力設定範囲：6～650Pa　・最大試料寸法：φ200mm、 H80mm　・最大観察試料寸法：φ130mm　　 【EDS（エネルギー分散型X線分析装置）】　・測定元素：Be～Cf　・分解能：129eV以下　・線分析、マッピング機能あり
共同利用の可否	企業　/　教育・研究機関
共同利用可能な場合の形態	学内	依頼試験　/　機器使用　（新潟大学在籍者）
	学外	依頼試験　/　機器使用　（企業、 教育・研究機関）
予約に対する承認の有無	学内の利用者による予約	予約不可
	学外利用者による予約	予約不可
利用可能時間帯	平日	09:00 ～ 17:00
	土日祝	終日利用不可

担当者氏名	新潟県工業技術総合研究所　県央技術支援センター　※利用希望者は直接お問い合わせください
電話番号	0256-32-5271
e-mail	ngt052014@pref.niigata.lg.jp
URL	https://www.pref.niigata.lg.jp/iri/ko-h-48-2.html

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