設備名称	超精密表面粗さ測定装置
機関・部局名	新潟県工業技術総合研究所　県央技術支援センター
設置場所	三条市須頃1-17
どのような分析・計測ができるのか	表面粗さの測定
設備の仕様	＜水平方向＞駆動距離：最大120mm　測定速度：0.25mm/s、0.5mm/s、1mm/s　最大データポイント：960,000ポイント　　＜垂直方向＞測定レンジ4mm（60mmスタイラス使用時）、分解能0.8nm＠4mmレンジ、ゲージレンジと分解能比5,000,000:1、先端半径、2μmＲ円錐ダイヤモンドスタイラス、スタイラス荷重　0.3～1mN(100mgf）　　＜システムパフォーマンス＞形状エラー　0.15μm以下/4mm測定レンジ、システムノイズ(Rq)2nm　　※ 本測定機は、公益財団法人JKAの機械工業振興補助事業の一環として導入されました。
共同利用の可否	企業　/　教育・研究機関
共同利用可能な場合の形態	学内	依頼試験　/　機器使用　（新潟大学在籍者）
	学外	依頼試験　/　機器使用　（企業、 教育・研究機関）
予約に対する承認の有無	学内の利用者による予約	予約不可
	学外利用者による予約	予約不可
利用可能時間帯	平日	09:00 ～ 17:00
	土日祝	終日利用不可

担当者氏名	新潟県工業技術総合研究所　県央技術支援センター　※利用希望者は直接お問い合わせください
電話番号	0256-32-5271
e-mail	ngt052014@pref.niigata.lg.jp
URL	https://www.pref.niigata.lg.jp/iri/ko-h-64-2.html

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