設備名称	走査電子顕微鏡
機関・部局名	新潟県工業技術総合研究所　上越技術支援センター
設置場所	上越市大字藤野新田349-2
どのような分析・計測ができるのか	試料に電子線を照射して、金属部品や電子部品などの表面の微小な構造を鮮明に観察する。低真空観察や付属するエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により，元素（Be～U）分析や簡易な定量分析ができる。
設備の仕様	分解能　高真空モード　3nm（30kV），8nm（3kV），15nm（1kV）　低真空モード　4nm（30kV）　倍率　5～300,000倍　加速電圧　0.3～30kV　画像モード　二次電子像，反射電子像　試料台　φ10mm，φ32mm，φ76mm　試料ステージ稼働範囲　X: 80 mm、Y: 40 mm、Z: 10 mm～48 mm、　傾斜: －10°～＋90°、回転: 360°　低真空圧力　10～270Pa（低真空観察時）　元素分析　付属のエネルギー分散型X線分析装置（JED-2300）による定性、簡易定量　　※USBメモリは使用禁止です。試験データを持ち出す際は、CD-Rをご用意下さい。
共同利用の可否	企業　/　教育・研究機関
共同利用可能な場合の形態	学内	依頼試験　/　機器使用　（新潟大学在籍者）
	学外	依頼試験　/　機器使用　（企業、 教育・研究機関）
予約に対する承認の有無	学内の利用者による予約	予約不可
	学外利用者による予約	予約不可
利用可能時間帯	平日	09:00 ～ 17:00
	土日祝	終日利用不可

担当者氏名	新潟県工業技術総合研究所　上越技術支援センター　※利用希望者は直接お問い合わせください
電話番号	025-544-6823
e-mail	ngt052012@pref.niigata.lg.jp
URL	https://www.pref.niigata.lg.jp/iri/jo-g-21-2.html

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