設備名称	走査型電子顕微鏡
機関・部局名	新潟県工業技術総合研究所　中越技術支援センター
設置場所	長岡市新産4-1-14
どのような分析・計測ができるのか	走査型電子顕微鏡は、電子線を観察対象試料に照射し、放出される二次電子・反射電子を検出して、高倍率での観察が可能な顕微鏡です。特に低真空モードにより、帯電しやすい絶縁試料を導電処理なしで観察分析ができます。光学像と電子顕微鏡画像が連動する機能があり、光学像で観察位置を確認し、拡大すると高倍率の電子顕微鏡像となる機能があります。また試料から放出される特性Ｘ線を検出するＸ線分析装置が附属しており、観察部位の元素分析が可能です。
設備の仕様	【SEM（走査電子顕微鏡）】・倍率：5～300、000倍　・分解能：高真空モード：3.0nm(30kV)　15.0nm(1.0kV)　低真空モード：4.0nm(30kV BED)　・加速電圧：0.3～30kV　・低真空圧力設定範囲：10～650Pa　・最大試料寸法：200mm径×80mm高さ　　【EDS（エネルギー分散型X線分析装置）】・検出可能元素：Be～U　・エネルギー分解能：129eV以下　・検出器：SDDタイプ
共同利用の可否	企業　/　教育・研究機関
共同利用可能な場合の形態	学内	依頼試験　/　機器使用　（新潟大学在籍者）
	学外	依頼試験　/　機器使用　（企業、 教育・研究機関）
予約に対する承認の有無	学内の利用者による予約	予約不可
	学外利用者による予約	予約不可
利用可能時間帯	平日	09:00 ～ 17:00
	土日祝	終日利用不可

担当者氏名	新潟県工業技術総合研究所　中越技術支援センター　※利用希望者は直接お問い合わせください
電話番号	0258-46-3700
e-mail	ngt052013@pref.niigata.lg.jp
URL	https://www.pref.niigata.lg.jp/iri/ch-h-60-3.html

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