設備名称	走査電子顕微鏡 JEOL JSM-IT100 + Oxford Instruments X-Act
機関・部局名	新潟大学　理学部
設置場所	自然科学研究科管理共通棟１階107
どのような分析・計測ができるのか	試料表面を高倍率で観察するとともに、その場所に含まれる元素の種類や分布を分析できる装置である。SEMにより、試料表面の微細な形状、粒子の大きさや形状、表面欠陥、破面状態などをナノメートルからマイクロメートルのスケールで観察できる。さらに、EDSを用いることで、電子線照射によって発生する特性X線を測定し、試料中に含まれる元素の定性分析および定量分析が可能である。
設備の仕様	SEM: 高真空モードのみ，倍率: ×8〜×300,000，照射電流: 1 pA〜0.3 μA，プローブ電流検出器, 微小電流計, 加速電圧: 0.5 〜 20 kV, 電子源: タングステンフィラメント, バイアス電圧: シームレスバイアス (加速電圧に連動), オートガンコントロール，ビームブランキング, 対物絞り: 1段, XY微動機構可能, オートフォーカス，試料ステージ: ユーセントリックステージ, 試料移動方式: ４軸 (X,Y,Z,R), 試料移動範囲: X方向 80 mm, Y方向 40 mm, Z方向 ユーセントリック面移動範囲, フォーカス範囲ともに WD5〜48, 回転 360°エンドレス, 試料ホルダー: 32 mmφ×10 mmh，モーター駆動ステージ: X, Y, Z軸, 試料交換: 試料ステージを引き出して交換, EDS: エネルギー分散型X線分析装置, 10 mm² x-act SDD検出器, Aztec energy system, スペクトル収集モード: アナライザ, ポイント&ID (定性分析, 定量分析), ラインスキャン, マッピング
共同利用の可否	学内
共同利用可能な場合の形態	学内	利用者自身が操作
	学外	学外利用不可
予約に対する承認の有無	学内の利用者による予約	予約可 (予約後即利用)
	学外利用者による予約	予約不可
利用可能時間帯	平日	08:00 ～ 20:00
	土日祝	08:00 ～ 20:00

担当者氏名	高澤栄一/植田勇人
電話番号	025-262-6114 / 025-262-7494
e-mail	takazawa@geo.sc.niigata-u.ac.jp / ueta@geo.sc.niigata-u.ac.jp
URL

キーワード	SEM　EDS　走査電子顕微鏡　エネルギー分散型検出器

関連技術者